Mit immer komplexeren modernen Computerchips und Schaltungen sind die Überprüfungen der Hardware in der Industrie anspruchsvoll und unerlässlich. Um die Qualität der Hardware zu gewährleisten werden regelmäßig große Mengen von Chipüberprüfungen durchgeführt. Dabei entstehen hochdimensionale Datensätze mit einer großen Menge von Testfällen, welche analysiert werden können, um Einsichten zur Verbesserung der Hardware zu gewinnen. Ein Ansatz zur Analyse dieser Daten existiert noch nicht. In Rahmen dieser Masterarbeit wurde das Chip Testing Error Detection System (CTEDS) für die Analyse der hochdimensionalen Datensätze mit Testfällen umgesetzt. Mit dem System sollen die potenziellen Fehlerquellen der in den Testfällen aufgetauchten Fehler festgestellt werden. Das System ermöglicht einen analytischen Prozess der multivariaten Datensätzen sowie drei interaktive Ansichten für die Darstellung der Datenelemente. Die Ansichten bieten drei Visualisierungstechniken jeweils für die Übersichtsdarstellung der Daten, die Korrelationsanalyse der Parameter und die Darstellung der hochdimensionalen Strukturen an. Dabei wurden geeignete Interaktionen entwickelt: Freie Selektion der Datenpunkte, Transformation der Datenelemente von einer Visualisierung in eine andere Visualisierung und dynamische Generierung der Korrelationen zwischen einem Parameter-Tupel. Die drei Ansichten sind mithilfe der Technik Bruhsing-Linking verknüpft. Die Kombination der interaktiven Visualisierungen ermöglicht eine effiziente visuelle Korrelationsanalyse bezüglich vorgegebener Fehler. Es ist dadurch möglich, potenzielle Fehlerquellen zu erkennen. Das System dient als eine interaktive Darstellungsplattform sowohl für die Darstellung der Beziehungen zwischen Parametern als auch für die kausale Analyse der Fehler.